國產(chǎn)離子注入設(shè)備實(shí)現(xiàn)28納米工藝全覆蓋
2023-06-30 08:56
6月29日從中國電子科技集團(tuán)獲悉，該集團(tuán)旗下中電科電子裝備集團(tuán)有限公司已實(shí)現(xiàn)離子注入裝備28納米工藝制程全覆蓋，有力保障我國集成電路制造行業(yè)在成熟制程領(lǐng)域的產(chǎn)業(yè)安全。
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